- 一体型ソリッド構造:
接合、溶接、内部空洞を持たない一体構造を採用。安定した基準面を形成し、画像検査や精密測定工程における高い再現性を実現します。
- 安定した平面度管理
高精度な平面管理により、産業用画像検査時の位置決め精度を維持し、支持面の凹凸に起因する測定誤差を低減します。
- 黒色アルマイト処理
高硬度アルミ合金ボディに黒色アルマイト処理を施すことで、表面の光反射を抑制。耐摩耗性を高め、光学検査環境での長期使用にも対応します。
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硬質アルマイト仕上げ
テーブル表面に硬質アルマイト処理を施し、耐摩耗性を向上。過酷な加工環境での長期使用を可能にします。
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精密微細孔加工
0.1〜0.3mmの微細孔を均一に配置し、テーブル表面全体にきめ細やかなエアフローを形成。薄物・繊細な素材にも安定した吸着力を発揮します。
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バリなし穴加工
均一で清浄な微細孔加工により、目詰まりを抑制し、連続稼働時にも安定した真空性能を維持します。
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高い平面精度
精密研磨により平面度≤0.05mmを実現し、加工中の素材の傾き・ズレ・位置決め不良を防止します。
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強力かつ均一な吸着力
ムラのない強力な吸着力により、複雑な加工条件にも対応し、リワークや材料ロスの低減に貢献します。
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カスタム設計対応
穴配置、穴構造、テーブルサイズは、ワークや工程要件に応じてカスタマイズ可能です。
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非粘着ワーク面
PTFEコーティングにより、接着剤の残留物や切粉・異物がテーブル表面に付着しにくく、清掃・メンテナンスが容易になります。
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耐薬品・耐食性表面
酸・アルカリ、腐食、酸化、錆に強いコーティング仕様のため、幅広い工業加工条件でご使用いただけます。
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低摩擦での材料接触
なめらかなPTFE表面により、板材・フィルム・精密ワークを扱う際の傷や表面損傷を低減します。
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幅広い工程対応
レーザー加工、接着、ラミネート、切断など、清浄かつ安定した真空吸着が求められる各種用途に適しています。
- 特許取得済み構造設計
独自の構造設計により、真空吸着力を効率的に伝達。精密加工時に求められる安定した保持性能を実現します。
- 強力かつ均一な吸着
均一な吸着分布により、小型精密ワークを確実に固定。局部的な圧力差による変形や位置ずれのリスクを低減します。
- 精密材料加工に対応
異形ガラス、薄板材料、金属部品など、加工中に高い位置決め安定性が求められるワークに対応します。
- 特注設計対応
図面に基づいたカスタム設計が可能です。異形ガラス加工設備に合わせて、テーブル形状や真空回路配置を最適化できます。
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一体型ソリッド構造
コンパクトサイズながら一体加工構造を採用し、安定した支持性能と高い剛性を実現します。
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集中かつ均一な吸着
ソリッドテーブル表面に最適化した真空設計により、小型・軽量・薄型ワークを確実に保持します。
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15cmコンパクト設計
省スペース設計により、持ち運びや保管が容易。研究開発設備、DIYワークステーション、小型装置への組み込みに適しています。
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高剛性・平面精度管理
ソリッド構造による信頼性の高い剛性と、管理された平面精度により、精密露光時の基板の安定性を確保します。
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全面均一吸着
均一な真空分布により基板をテーブル表面に密着させ、露光時の反りや位置ズレを低減します。
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クイックチェンジパネル設計
交換可能なパネル構造により、メンテナンス時のダウンタイムを削減し、連続生産環境における生産効率を向上させます。
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カスタム構造オプション
構造、サイズ、真空レイアウトをカスタマイズ可能で、各種LDI装置・生産要件に対応します。